文献综述
摘要：
本文首先介绍了什么是位移传感器以及常用的三维位移测量工具—三坐标测量机，进而引出三维位移传感器。然后介绍了目前常见的几种位移传感器包括电位器式位移传感器、编码器、光栅尺、拉绳传感器、差动变压器电感式位移传感器。在这之中重点分析了差动变压式位移传感器。然后提出了本课题所要设计的产品的特点及优越性，并阐述了三维位移传感器的工作原理。之后讲了并联机构的优点以及测量模型和信号处理的方法。
关键词：三维位移传感器，差动变压式，并联机构，测量模型
1.位移传感器
位移传感器又称为线性传感器，是一种属于金属感应的线性器件，传感器的作用是把各种被测物理量转换为电量。在生产过程中，位移的测量一般分为测量实物尺寸和机械位移两种。位移传感器的应用范围相当广泛，常用在工业自动化或者建筑桥梁等方面。位移传感器根据位移的大小输出大小不同的电信号，然后判断位移量的大小。
通常位移测量是一维的，要测量物体三维位移时采用各方向分别布置一个一维位移传感器，当采用顶杆式位移传感器时要求被顶部位光滑且与传感器垂直。而测量物体的三维运动或测量物体三维曲面的具体形态都很难用三个一维传感器实施，从而测得可信的结果。因此有必要设计一种三维位移传感器，以达到一点安装，三维位移获取的目的。市面上已有较为成熟的一维位移传感器，将三个一位位移传感器用适当的方式组合起来可以构成三维位移传感器，用来测量三维位移。
三坐标位移传感器在科学研究中被得到广泛的应用，应用于电子、汽车、机械制造、航空航天等工业中进行零件的形状、尺寸及相互位置的检测，常见的测量如涡轮、叶片、缸体、齿轮、箱体等空间型面的测量。三坐标位移传感器在划线，定位，光刻集成线路都有应用，还可以对连续曲面进行扫描，机床的加工程序制备数控等三坐标测量机的测量精准，效率高，性能好，范围大，是重要的测量仪器。
2.三坐标测量机
目前用于三坐标测量的工具主要是三坐标测量机。国外对三坐标测量机的应用已经相当的普遍并且三坐标测量机正在迅速的发展。目前世界上生产测量机的厂商超过五十家品种达到三百种以上国外的三维位移传感器生产厂较多.德国、意大利、美国、日本等国家都有很多生产厂家国外的机器有自己的特点大多数的机器空间敞开性好总体布局为悬臂式便于安装同时国外的机器开发能力强能够满足不同用户的特殊需求国外的机器大多数用合金材质、移动件质量尽可能小做到低惯性和高钢性三坐标测量机的不断发展的同时，形成了自己的标准化系统化的东西同时稳定性和可靠性得到提高机器本身的寿命也更长了。
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