文献综述
文 献 综 述激光直写是制作衍射光学元件的主要技术之一，利用激光直写技术制作微流控芯片，拥有制作周期短且简便，且制作的微流控芯片精度高的特点。
本文就微流控芯片技术及其制作工艺以及激光直写技术作简单介绍。
1 前言微流控芯片技术是通过生物学、化学、医学、电子、材料、机械等多学科交叉，将分子生物学、化学分析、医学等领域所涉及的样品前处理、分离及检测等过程集成到几平方厘米的芯片上，从而实现从样品前处理到后续分析的微型化、自动化、集成化和便携化的技术，具有样品消耗少、检测速度快、操作简便、多功能集成、体积小和便于携带等优点，已在多个领域得到应用。
激光直写是利用强度可变的激光束对基片表面的抗蚀材料实施变量剂曝光，显影后在抗蚀层表面的抗蚀材料形成所需要的轮廓。
激光直写系统的基本工作原理是由计算机控制高精度激光束扫描，在光刻胶上直接转移到掩模上。
2 检测技术研究进展检测技术是微芯片技术中相当重要的一个组成部分。
自微芯片问世以来，检测器的研究一直是人们关注的热点。
微流控芯片检测器的作用是测定经过微流控分析系统分离或者处理的有关样品的组成及其含量。
检测器的总体性能将影响整个微流控芯片分析系统的检出限、检测速度、适用范围、体积等指标。
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