摘要
钙钛矿太阳能电池作为一种新兴的光伏技术，近年来因其高效率、低成本等优势备受关注。
电子传输层作为钙钛矿太阳能电池的重要组成部分，对其光电转换效率和稳定性起着至关重要的作用。
氧化锡（SnO2）由于其高电子迁移率、宽带隙、低温制备工艺以及与钙钛矿材料良好的兼容性，被认为是钙钛矿太阳能电池电子传输层的理想材料之一。
磁控溅射是一种制备高质量氧化锡薄膜的有效方法，可以通过精确控制溅射参数来调控薄膜的性质，以满足不同器件的需求。
本文首先介绍了钙钛矿太阳能电池和氧化锡材料的基本概念，阐述了氧化锡作为电子传输层材料的优势；然后，重点综述了近年来国内外利用磁控溅射技术制备氧化锡薄膜及其在钙钛矿太阳能电池中应用的研究进展，详细介绍了溅射参数对氧化锡薄膜的结构、光电性能以及器件性能的影响；最后，对未来氧化锡基电子传输层材料的发展趋势进行了展望。
关键词：钙钛矿太阳能电池；氧化锡；电子传输层；磁控溅射；薄膜
1绪论近年来，全球能源需求不断增长，寻求清洁、可持续的能源已成为当务之急。
太阳能作为一种取之不尽、用之不竭的可再生能源，其开发利用受到世界各国的普遍关注。
钙钛矿太阳能电池作为一种新兴的光伏技术，因其优异的光电性能和低廉的制备成本，近年来成为太阳能电池领域的研究热点。
钙钛矿太阳能电池通常采用“三明治”结构，主要由透明导电基板、电子传输层（ETL）、钙钛矿吸光层、空穴传输层（HTL）和金属电极构成。
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